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X轴 |
测量范围 |
50mm（CV-1000）或100mm（）CV-2000 |
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分辨率 |
0.2μm |
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测量方法 |
反射型光栅尺 |
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驱动速度 |
0.2mm/s\\\\\\\\1mm/a和手动 |
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测量速度 |
0.02-5mm/s |
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测量方向 |
/向后 |
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直线度 |
3.5μm /50mm
1.5μm/mm（当X轴在水平方向上 |
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指示精度
（20℃） |
±（3.5+2L/100）μm
L为驱动长度（mm） |
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倾斜范围 |
±45°（CV-2000） |
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Z1轴 |
测量范围 |
25mm（CV-100）或40mm（CV-2000） |
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分辨率 |
0.4μm（CV-1000系列）
0.5μm（CV-2000系列） |
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测量方法 |
弧形编码器 |
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指示精度
（20℃） |
±（3.5+14H/25）μm）
H为水平位置上的测量高度（mm） |
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探针上下运作 |
弧形运动 |
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探针方向 |
向下 |
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测力 |
10-30mN |
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跟踪角度 |
向上 |
77° |
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向下 |
87° |
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探针针尖 |
半径 |
25μm |
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材料 |
硬质合金针尖 |
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基座尺寸（WxH） |
750x600mm（CV-2000） |
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基座材料 |
花岗岩（CV-2000） |
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重量 |
主机 |
5kg（CV-10000N2）、115.8kg（CV-2000M4）、124kg（CV-2000S4） |
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控制装置 |
14kg |
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遥控箱 |
0.9kg |
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电源 |
100-240VAC±10% 50/60Hz |
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能耗 |
150W仅限主机 |
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